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PRODUCT CLASSIFICATION晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD用于全自动分拣、晶体取向、optical notch and flat determination测定等。Si | SiC | AlN | 蓝宝石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
Ingot XRD - 晶锭X射线定向仪有着*的XRD系统,用于单晶晶锭的自动定向、倾斜和对准研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多种材料。
Omega/Theta XRD- 定制的样品架用于微小圆柱体、大型晶铸或立方体晶体定向的夹具
Omega/Theta XRD- 摇摆曲线测量意味着在Theta-scan模式下进行测量,这需要一个测角仪。一个双晶体被带入主光束路径,以减少光谱宽度和发散度。然而,其副作用是强烈的强度降低。
Theta XRD晶锭粘接转移技术(堆垛 stacking),晶体(如SiC的晶锭)。这些需要在线切过程之前进行定向对准。Freiberg仪器公司提供了一个方便的支架系统,使用Omega-scan对准晶锭。整个堆垛被转移到线锯。平行的锯切可极大节省时间,极大提升生产效率,提高制造良率。
Omega/Theta XRD Mapping面扫功能扫台允许使用受控的网格模式来探索整个样品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在转盘顶部容纳额外的XY定位平台。样品表面可以根据用户定义的网格进行扫描。由于样品上X射线光斑的大小,小的网格间距约为1毫米。
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