产品中心
PRODUCTS CENTER简介:
C60-40 离子源系统 是目前性能较高的C60光束,具有300纳米的光斑尺寸和高达1毫安的束流。
从生物医学应用到聚合物科学和冶金,C60-40都可以做到这 一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射,但由于更高 的束能量,C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻率,是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。
C60-40 离子源系统 是一款出色的全能型产品,Ionoptika销售的每台J105SIMS仪器中都包含C60-40。
主要参数:
主要应用 | 分析 |
光斑尺寸 | 300 µm |
扫描范围 | 1 x 1 mm |
能耗范围 | 10 – 40 kV |
电流范围 | 1 nA |
法兰至机头长度 | 168 ± 5 mm |
推荐工作距离 | 22 ± 2 mm |
电源装置 | 6U x 19’’ rack mountable unit |
电源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
软件要求 | PC running Windows 10 or later |
集成法兰规格 | NW 63 CF |
特点:
◇ 用于 SIMS 分析的出色的全部方位离子束;
◇ 小光斑尺寸可达 300 nm;
◇ 电流高达 1 nA;
◇ Wien滤波器,用于在直流和脉冲操作过程中进行质量滤波;
◇ 提供快速脉冲、脉冲串、光栅和二次电子检测功能;
◇ 闸阀,便于快速维修
应用技术:
下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3D SIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成,覆盖在保护性光刻胶层中。
这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择,因 为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300 nm的光斑尺寸相结合,是一种强大的光束,无论您使用何种类型的样品,都能在2D和3D中提供较高分辨率。
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