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PRODUCTS CENTER当前位置:首页产品中心半导体专用检测仪器设备XRDWafer XRD-200晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD
产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的特点:
◇ 自动化的晶圆处理和分类系统(例如:盒到盒)。
◇ 晶体取向和电阻率测量
◇ 晶片的几何特征(缺口位置、缺口深度、缺口开口角度、直径、平面位置和平面长度)的光学测定
◇ 未抛光的晶圆和镜面的距离测量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圆x射线晶体定向仪分拣系统Wafer XRD的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 测量速度: < 5秒/样品
◇ 易于集成到工艺线中
◇ 典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
全自动化的晶圆分拣和处理系统
Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪
主要里程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置,名为 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料,如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金
◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM )
全球售出 约 150台石英分选系统
◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师
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服务电话:
021-34685181 上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室 wei.zhu@shuyunsh.com