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PRODUCTS CENTER当前位置:首页产品中心半导体专用检测仪器设备XRDFreiberg-Ingot XRDIngot XRD - 晶锭X射线定向仪
产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION
Freiberg Instruments的单晶XRD定向仪
Ingot XRD - 晶锭X射线定向仪主要里程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集团亚瑟·布拉达切克和他的儿子汉斯·布拉达切克创立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成电路的x射线检测计数装置,名为 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 开发 Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圆形石英毛坯的定向测量系统 - 振荡器产量从 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 将 Omega 转移到其他材料,如SiC、蓝宝石、GaN、GaAS、Si、Ni基高温合金
◆ 2010 - 推出用于晶体取向测量的台式 X 射线衍射仪 ( DDCOM )
全球售出 约 150台石英分选系统
◆ 2015 - X 射线技术和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
传承60年德国工匠精神-三代X射线工程师
Ingot XRD - 晶锭X射线定向仪的特点:
◇ 精度高
◇ 测量速度快: < 5秒/样品
◇ 典型的标准偏差倾斜度(例如:Si 100):< 0.003 °,极小< 0.001 °。
◇ 晶锭的自动对准
◇ 胶片的自动定位
◇ 光学测量晶锭和/或研磨原锭的几何特征(平边Flat、凹槽Notch位置)
◇ 晶锭的自动标记
◇ 易于集成到工艺线中(手动或机器人装载)。
◇ 数据矩阵代码(DMC)阅读器
◇ MES接口;SECS/GEM或类似接口
◇ 直径达300毫米,长度达520毫米的晶锭
Ingot XRD prepared for manual loading
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