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MDPspot少子寿命测试仪
产品简介

MDPspot少子寿命测试仪低成本桌面单点测量硅片或晶砖,用于在不同制备阶段表征各种不同的硅样品,无需内置自动化。可选手动操作的z轴厚度高达156毫米的硅砖样品,高达156毫米硅砖,结果可视化的标准软件。

产品型号:MDPspot-1
更新时间:2024-09-12
厂商性质:代理商
访问量:1085
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MDPspot W

包括一个额外的电阻率测量选项。测量硅的电阻率,可用于没有高度调节可能性的晶圆,或晶砖。必须预先定义这两个选项中的一个。

     

     

           


     

MDPspot少子寿命测试仪特点:        

◇  无接触无破坏的电学半导体特性        

◇  包括μ-PCD测量选项        

◇  对迄今为止看不见的缺陷的可视化和外延层的研究具有*的灵敏度        

◇  集成多达四个激光器,用于宽的注入水平范围

◇  获取单次瞬变的原始数据以及用于特殊评估目的的地图        


技术规格:  

   

单晶或多晶片、晶砖、电池、硅片、钝化或扩散等不同生产步骤后的晶片

样品尺寸

50 x 50 mm² 以上到 12“ 或 210 x 210 mm²

电阻率

0.2 - 10³Ω·cm

材料

晶片、晶砖、部分或加全部工的硅片、化合物半导体等

测量参数

载流子寿命

尺寸

360 x 360 x 520 mm, 重量: 16 kg

电力

110/220 V, 50/60 Hz, 3 A










       

MDPspot少子寿命测试仪优点:        

◇  台式装置,用于载流子寿命的单点测量,多晶硅或单晶硅在不同的制备阶段,从原生材料到器件        

◇  体积小,成本低,使用方便。附带一个基本的软件,用于在小型PC或笔记本上进行结果可视化。        

◇  适用于硅片到砖,操作高度调节方便。


细节:        

◇  允许单晶圆片调查        

◇  不同的晶圆级有不同的配方        

◇  监控物料、工艺质量和稳定性      


附加选项:

◇  光斑大小变化

◇  电阻率测量(晶片)

◇  背景/偏置光

◇  反射测量(MDP)

◇  软件扩展

◇  额外的激光器选配


MDPspot 应用:

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