产品中心
PRODUCTS CENTER当前位置:首页产品中心19461111伟德 弗莱贝格--SDCOM小晶体样品台式X射线单晶定向仪
产品分类
PRODUCT CLASSIFICATION相关文章
RELATED ARTICLES
►技术特点
--能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品
--各种样品架及输送夹具,用于线锯、抛光等
--侧晶方向标记选项
--SDCOM(小晶体样品台式X射线单晶定向仪)无水冷却
--精可达0.01°(视晶体质量而定)
--确定单晶的*晶格取向
--使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量
--气冷式X射线管,无需水冷
--适合于研究和生产质量控制
--手动操作(没有自动化选项)
晶体的方向是由反射位置决定的
►SDCOM可测材料
--立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP
--立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
--正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4
--六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(蓝宝石),GaPO4, La3Ga5SiO14
--斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3
--另可根据客户的要求进一步选料
适合多种材料
►行业应用
平面方向的标记和测量
--在晶圆片的注入和光刻过程中,需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平面或缺口的位置至关重要。
--为了确定平面或缺口的位置,就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位,基于此,便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。
--SDCOM(小晶体样品台式X射线单晶定向仪)通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户的特定位置。在必须定义平面方向的情况下,这可以大大简化将标记应用到特定平面方向的过程。
扫一扫,关注公众号
服务电话:
021-34685181 上海市松江区千帆路288弄G60科创云廊3号楼602室 wei.zhu@shuyunsh.com