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开放式纳米焦点金刚石光源,降低使用成本
多探测器自动切换(多可选4个),可选择适用于中小尺寸样品成像的高灵敏度CCD探测器和适用于大尺寸样品、快速扫描的高分辨率CMOS平板探测器
11轴高精度定位系统,精度优于50nm
三维空间分辨率优于500nm,小像素尺寸优于60nm
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